Metal/Backend Sputter system- second Tender

≡In het kort

TNO zoekt één leverancier voor de levering van een 'Metal Backend Sputter system' voor het aanbrengen van Ti- en Au-lagen op 6-inch InP-wafers. De opdracht omvat de levering van de machine, installatie, 24 maanden garantie en een onderhoudscontract. De geschatte waarde van de opdracht is 1.900.000 euro exclusief btw, er is sprake van één perceel en er is een optie voor de aanschaf van een tweede systeem.

◷Belangrijke data

• Uiterste datum stellen van vragen: 14 september 2026 om 12:00 uur
• Publicatie Nota van Inlichtingen: 24 september 2026
• Uiterste datum indienen inschrijving: 8 oktober 2026 om 12:00 uur
• Bekendmaking voorlopige gunning: 26 oktober 2026
• Aanleveren bewijsstukken door beoogde winnaar: uiterlijk 2 november 2026
• Uiterste datum voor bezwaren (standstill): 17 november 2026
• Definitieve gunning: na 17 november 2026

✓Wie mag meedoen (geschiktheid en uitsluiting)

• UEA: Indiening van een volledig ingevuld en rechtsgeldig ondertekend Uniform Europees Aanbestedingsdocument is verplicht.
• Uitsluitingsgronden: Geen uitsluitingsgronden van toepassing (inclusief naleving van de EU-sancties tegen Rusland). De winnaar moet een Gedragsverklaring Aanbesteden (GVA), een Verklaring betalingsgedrag Belastingdienst en een KvK-uittreksel (maximaal 6 maanden oud) kunnen overleggen.
• Verzekeringen: Minimaal € 2.250.000 dekking per aanspraak voor bedrijfsaansprakelijkheid en beroepsaansprakelijkheid, met een jaarlijks minimum van € 4.500.000.
• Certificaten: ISO 9001 en ISO 14001 certificering (of gelijkwaardige maatregelen).
• Technische referenties (afgelopen 3 jaar op industriële productieschaal):

1. Levering van een TiAu Sputter systeem voor 6" wafers met een minimale contractwaarde van € 1.140.000 excl. btw.

2. Levering van een TiAu Sputter systeem voor InP en/of andere compound halfgeleiders.

3. Ervaring met het ontwikkelen en uitvoeren van reinigings- en onderhoudsschema's voor hoogvolume fotonische productie.

4. Ervaring met het ontwerp, de levering en ondersteuning van besturings- en processoftware voor industriële sputter- of vacuümsystemen.

• GPA-landen: Ondernemingen uit landen die geen partij zijn bij de GPA of geen gelijkwaardig handelsverdrag met de EU hebben, kunnen worden uitgesloten.

★Waar win je punten mee (gunningscriteria)

De gunning vindt plaats op basis van het criterium "Lowest total price" (in de TenderNed-publicatie aangeduid als "Prijs"). Er is geen kwalitatieve beoordeling; de inschrijver die aan alle minimumeisen voldoet en de laagste prijs biedt, wint de opdracht.

De totale prijs wordt als volgt berekend:

$$\text{Total Price} = \text{TP1} + \text{TP2}$$

• TP1: De prijs voor het sputter-systeem (inclusief 24 maanden garantie, onderhoud tijdens de garantieperiode, design review, FAT, SAT en DDP-levering).
• TP2: De prijs voor een eenjarig onderhouds- en servicecontract na de garantieperiode.

•Risico's en aandachtspunten

• Prijsplafond onderhoud (TP2): De jaarlijkse prijs voor het onderhoudscontract (TP2) mag maximaal 4% van de machineprijs (TP1) bedragen. Overschrijding leidt tot directe uitsluiting.
• Vertraging bouw fabriek: De fabriek in Eindhoven is nog in aanbouw. Als de bouw vertraging oploopt, moet de leverancier de machine kosteloos tijdelijk opslaan op eigen locatie of in een externe opslag.
• Korte termijn GVA: De winnaar moet de GVA binnen 7 kalenderdagen na verzoek aanleveren. Omdat de aanvraag hiervan 4 tot 8 weken kan duren, moet deze vooraf al zijn aangevraagd.
• Strikte referentie-eisen: De referenties moeten specifiek op industriële schaal zijn uitgevoerd (R&D- of laboratoriumomgevingen tellen niet mee).
• Geen onderhandeling: TNO onderhandelt niet over de prijs; uw eerste bod is direct uw definitieve bod.